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MX6R半導(dǎo)體檢查顯微鏡(明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC)
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商品說(shuō)明
MX6R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。 寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒 正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作。 大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì) 采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì),行程158×158mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。 高精度物鏡轉(zhuǎn)換器 轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。 其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱。 商品參數(shù)
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